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日本MSA 高溫爐 硅片加熱爐

產(chǎn)品時(shí)間:2024-03-28
日本MSA 高溫爐 硅片加熱爐
用于加熱大型基材和玻璃的升降機(jī),帶蓋熱板PA-LIF系列,晶圓加熱(RP系列),材料表面研究和評(píng)估,無(wú)機(jī)材料熱處理,耐熱性評(píng)估,烘烤等。RP系列有雙面加熱和石英鐘罩的選項(xiàng),可以用于材料的氣體置換。 RP系列也可用于氣體置換和材料的加熱。

日本MSA 高溫爐 硅片加熱爐

主要應(yīng)用。

用于加熱大型基材和玻璃的升降機(jī),帶蓋熱板PA-LIF系列,晶圓加熱(RP系列),材料表面研究和評(píng)估,無(wú)機(jī)材料熱處理,耐熱性評(píng)估,烘烤等。RP系列有雙面加熱和石英鐘罩的選項(xiàng),可以用于材料的氣體置換。 RP系列也可用于氣體置換和材料的加熱。

MSA工廠加熱知識(shí)

各種技術(shù)訣竅集中在材料(超級(jí)耐熱板、熱變形對(duì)策、鈦合金底盤)、加熱器設(shè)計(jì)、絕緣、熱輻射等方面。

高性能和多功能性

可提供定制的附加功能,例如用于加熱和運(yùn)輸大型板材的升降機(jī)功能(垂直板材驅(qū)動(dòng)),以及處理加熱過程中板材變形的真空吸盤功能。

安全功能

該控制器配備了安全功能,包括超溫監(jiān)測(cè)功能、緊急停止功能、泄漏檢測(cè)功能和負(fù)載斷開功能。

溫度控制范圍:室溫至1000℃ 溫度分布:±3%或更少(在加熱區(qū)域內(nèi))

尺寸:RP-10080-4(用于4英寸),-6(用于6英寸),-8(用于8英寸)。

選項(xiàng):石英鐘罩、質(zhì)量流量等,其他定制。

特點(diǎn)

超高溫(MAX 1000°C)硅片加熱爐 - 平行板式,用于均勻加熱 - 氣體吹掃功能(惰性氣體N2,Ar)。

控制器上標(biāo)配的數(shù)字流量計(jì) 50 L/min (設(shè)置單位0.1 L/min)

氧氣兼容的質(zhì)量流量型選項(xiàng) - 兩個(gè)控制器(用于上、下層熱板),具有溫度程序功能

石英鐘罩(氣體吹掃功能)選項(xiàng)

日本MSA 高溫爐 硅片加熱爐

型號(hào)PA2560-LIFPA4060-LIFPA8020-LIFRP10020
最高溫度250℃400℃800℃1000℃
尺寸600×600mm600×600mm220×220mm220×220mm
板材材料鋁合金超耐熱合金
電源電壓AC200V
可選電動(dòng)升降機(jī),真空吸能器電動(dòng)升降機(jī), 真空吸附, 電動(dòng)傳送面 快門、電動(dòng)升降機(jī)雙面加熱功能
特點(diǎn)帶手動(dòng)絕熱罩,其他可通過自動(dòng)操作進(jìn)行處理輸送部分,側(cè)向卸貨

轉(zhuǎn)移機(jī)器人

支持的類型

高達(dá)800℃的超高溫達(dá)到超高溫1000℃ 對(duì)應(yīng)石英玻璃 惰性氣氛下的加熱
溫度     控制器PCC118-LIF-TP、觸摸面板 監(jiān)視器臂式PCC118-LIF-TPPCC118-LIF-TPPCC118-W-TP



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