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日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2
產品時間：2024-03-28
日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2緊湊型自動轉印顯影機。ACT-300A2S自動轉印型顯影機在旋轉6英寸以下的基材時進行噴霧顯影。它配備了兩套顯影液系統、一套沖洗系統和一把氣刀，配方設置操作可通過觸摸屏進行，可實現多達25種基質的自動顯影。
日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2
緊湊型自動轉印顯影機。
ACT-300A2S自動轉印型顯影機在旋轉6英寸以下的基材時進行噴霧顯影。
它配備了兩套顯影液系統、一套沖洗系統和一把氣刀，配方設置操作可通過觸摸屏進行，可實現多達25種基質的自動顯影。
也可提供無自動處理的單晶片類型。
日本EHC 自動轉印顯影機ACT-300A2
主要規格。
處理能力：可連續處理25張6英寸以下的圓形基材。
流程：顯影劑：2個系統，漂洗：1個系統，氣刀：1個系統。
使用的化學品：堿性顯影劑，去離子清洗水。
處理能力 多達25個6英寸的圓形基片（專用盒式存儲型）。
過程開發者2系統（噴嘴可互換）。
1個漂洗系統 1個氣刀系統
使用的化學品 堿性顯影劑 去離子清洗水
轉移機器人Tatsumo定心臺，用于準確定位基片。
可以注冊10個步驟x50個模式的食譜。
以0.1秒為增量的處理時間設置
板速交流伺服電機控制的 0-3000 rpm 精度±2 轉速以內
設備尺寸 W1120 x D920 x 高1950毫米，zui大50 0公斤或以下
控制系統8英寸觸摸面板操作
吸水臺 白色特氟隆，真空孔吸水式
罐體容量為18L，與機體分離，通過稱重傳感器檢測殘余液位。
顯影液控制溫度20-30°C ± 3°C
公用事業 3相200V/30A 1個漏電斷路器
內置真空泵
空氣0.5兆帕
氮氣 0.3 MPa
排氣管 2個排氣系統（電動排氣管、杯式排氣管），?75 mm
顯影液廢液 收集在聚乙烯罐中或與工廠廢物相連